Laser Interferometer

장비의 축, 레일을 소프트웨어를 통해 움직일 때 장비의 이송거리, 위치 정밀도, 반복 정밀도, 진동,
요, 피치, 속도 등 다양하게 측정이 가능합니다. 측정범위는 Nano단위까지 측정이 가능하며 옵틱의 구성도 심플 합니다.
특징 및 장점
Align 하는것과 헤드의 각도가 디스플레이에서 확인이 가능하다
환경보상센서와 레이저 소스가 블루투스 통신이다.