정밀 측정 (micro, nano, pico)
길이 (Length, Pitch, interferometer)
각도 (angle)
진직도 (Straightness)
평탄도 (Flatness)
3차원 조도형상 (3D Shape & Roughness)
직각도 (Perpendicularity)
평행도 (Parallelism)
Vision system
정밀 가공 (Ultrasonic spindle)